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石英坩堝的制作流程
日期:[2024-09-30 16:58:21] 共閱[223]次
石英坩堝是石英玻璃制品中的重要分支,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的高純單晶硅棒拉制過(guò)程中。其制作流程嚴(yán)謹(jǐn)而精細(xì),以下是主要的制作步驟:
1、精選原料。該產(chǎn)品的原料為高純度的石英砂,SiO2含量通常需達(dá)到99.99%以上。這些原料需經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的篩選和清洗,去除雜質(zhì)和顆粒不均勻的石英顆粒,確保坩堝的高純度。
2、原料配比與制粒。將清洗后的石英砂按照一定比例混合,并加入適量的添加劑,如鋁粉、鈉鹽等,以調(diào)整石英砂的熔點(diǎn)和物理性質(zhì);旌虾蟮脑闲柽M(jìn)行制粒,使顆粒大小均勻,便于后續(xù)的成型操作。
3、成型與燒結(jié)。將制粒后的石英材料放入模具中,通過(guò)壓制、注塑或擠出等方法進(jìn)行成型。成型后的坩堝毛坯需進(jìn)行高溫?zé)Y(jié),使骨架結(jié)構(gòu)與玻璃相結(jié)合,獲得良好的物理性質(zhì)。燒結(jié)過(guò)程中需嚴(yán)格控制溫度和時(shí)間,確保產(chǎn)品質(zhì)量。
4、加工與檢測(cè)。燒結(jié)后的石英坩堝需進(jìn)行精細(xì)的加工,包括去除外層浮砂、倒角處理、化學(xué)清洗和干燥等步驟。此外,還需對(duì)坩堝的外觀、尺寸、重量以及微氣泡狀態(tài)等進(jìn)行嚴(yán)格檢測(cè),確保產(chǎn)品符合質(zhì)量要求。
5、該產(chǎn)品的制作流程還包括涂層制作,一些高品質(zhì)的坩堝會(huì)在其表面涂上一層二氧化鋇溶液,形成致密層,以提高成晶率。
總的來(lái)說(shuō),石英坩堝的制作流程繁瑣而精細(xì),需要先進(jìn)的工藝和設(shè)備支持。這一流程確保了坩堝的高純度和良好的物理性能,滿足了半導(dǎo)體材料生產(chǎn)中的嚴(yán)格要求。
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